半导体震动与水平侦测仪器

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半导体震动与水平侦测仪器

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蓝芽无线传输、晶圆形状和电池供电,尺寸为 300mm。

三维 x、y 和 z 的加速度

二维 x 和 y 的倾斜度

厚度: 3.5mm、层压化学硬化玻璃基板。

 

  • Epitaxy
  • Thermal oxidation/metallization
  • Plasma vapor deposition; PVD
  • Chemical vapor deposition; CVD, ALD
  • CMP
  • Atomic layer deposition; ALD
  • Photo lithography
  • Wet (chemical) etch, plasma etch
  • Dry etch
  • Ion implant
  • Di_usion/furnace
  • Rapid thermal anneal; RTA, RTP
  • Test and inspection
  • Metrology
  • Micro contamination
  • Auto handling system; AMHS
  • Module repair

 

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