静电 / 电阻侦测

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静电 / 电阻侦测

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ESD / Resistance detection

ESD:

空气当中的静电,若没有有效的引导或是阻绝机制,很容易在搬运或是製造过程当中发生静电的破坏影响,有效的侦测机制可以找到发生的原因跟位置,特殊的工程材料或是金属引电设计可以达到降低静电破坏的风险。

代表产品:抗静电胶带,微导电材料加工,离子风扇,静电消除器

Resistance seneor:

用在电镀机的夹具上的阻抗量测。平常的使用是因为夹着晶圆到电镀液中,几个lot之后可能会让夹具的pin会让电镀液度到,然后影响电镀效果。传统方式用电阻计一颗颗量测电阻值,现在用ARS一次量测,可以全部pin都看到电阻值。

代表产品:ARS

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