晶圆形状: 提供 150mm、200mm和 300mm晶圆尺寸。

蓝芽传输: 将微尘资料即时传输到笔记型电脑或 PC。

测量尺寸: 0.1μm 和 0.5μm的微尘以及 2、5、10 和 30 μm的较大微尘

专用软体 CyberSpectrum™ 应用软体为使用者提供即时视觉回馈，并可记录和重播记录的数据以供查看和分析。