针对晶圆或面板的搬运装置，提供监测，检测以及防止产品滑移等损失，我们提供无线震动感测，异常特徵分析，防滑移高分子垫片。提升速度，增加产能等综和解决方案特别结合搬运基板及晶圆的机器手臂，内建专利智慧振动监控感测器……