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针对晶圆或面板的搬运装置,提供监测,检测以及防止产品滑移等损失,我们提供无线震动感测,异常特徵分析,防滑移高分子垫片。提升速度,增加产能等综和解决方案特别结合搬运基板及晶圆的机器手臂,内建专利智慧振动监控感测器……
HEPC Series 高压静电集尘系统
—— 专为极致集尘效益设计,精准消除制程中的细微落尘
【系统优势】
高弹性维护: 集尘模组采快拆式设计,易于拆装,大幅简化日常维修与保养流程。
绿色环保降低耗材: 无须使用一般抛弃式过滤耗材,集尘板可重复清洗使用,显著降低企业营运成本,符合 ESG 净零减碳趋势。
【核心技术特点】
广域电压与简易安装: 支援通用电压规范(AC 100~240V, 50/60Hz),具备极佳的安装便利性。
高效模组化控制: 单台控制器最高可灵活对应 4 组集尘模组,优化厂区空间配置。
强效抗干扰防护: 控制器具备优异的电磁相容性,能完全阻绝 EMI / EMS(电磁干扰与耐受)所造成的设备损害。
智慧安全隔离机制: 当高电压发生异常动作(如接触导电体或人体)时,系统将立即发出 Alarm 警报并精准中断该组个别电源;其余模组(PM)仍维持正常运作,确保产线不中断。
极致低噪音运转: 配备低噪音风扇,在维持高效能高压集尘作业的同时,营造低噪的友善工作环境。
双重人身安全防护: 秉持安全至上的设计理念,高压模组外部全面加装安全防护网,彻底杜绝工安风险。