透过无尘室粉尘控管法规，ISO14644-1， ISO21501-4，粉尘或颗粒异物会造成生产的品质疑虑，

无论生产制造过程中发生的产出物或是外来污染源皆是。长智提供空气/真空与液体的不同侦测仪器或感测器

，airborne particles sensor/ Liquid particle sensor/ inline particle sensor. 代表产品：CyberOptics Wafersense APS/ IPS

Airborne Particle Sensor (APS) 晶圆气体微尘侦测系统 创新的设计，将侦测能力最小至0.15um的微尘侦测系统设计成类晶圆形状，

能在不打开机台得情况下即时测量设备腔体内部气体中的微尘粒子数量，并能应用于晶圆自动搬运系统(AMHS)的微尘污染监控。

让您即时分辨微尘污染来源来缩短生产线上的设备维修保养时间。本产品备有8吋和12吋规格。

In-line Particle Sensor™ (IPS™)

利用IPS和全新的CyberSpectrum™软件收集并显示粒子数据，用于即时设备诊断。

通过CyberSpectrum，能更轻松快速地比较过去和现在的数据以及不同设备之间的数据。实时观察清洁、调整和维修的效果。

迅速定位污染源，节省时间。