晶圆形状: 200mm和 300mm晶圆尺寸。

即时无线传输和真空环境相容于像晶圆一样移动，并且由于设备在检查过程中保持密封而花费更少的时间。

高精度: 精确到 ±0.1mm(x , y位置)；±0.8 mm（z 位置）。

专用软体 CyberSpectrum：显示即时视讯和目标特征的测量结果、偏移和用户评论。允许教学圆形特征，直径为 3mm-10mm。

整合审阅功能；重播日志档案资料以进行审查和分析。