半导体自动电阻量测仪器

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半导体自动电阻量测仪器

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无线传输,晶圆形和锂电池供电,尺寸为 300mm

耐用的外壳边缘接点采用贵金属镀层,机械坚固

50 个测量区与SABRE 化学和清洁程序化学相容

高精度: 1mΩ ±1% 范围,具有标准化读数

解析度100μΩ

重量 270 g,厚 5.5 mm

 

  • Electrochemical Deposition; ECD

 

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