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半导体震动/水平/湿度三合一侦测仪器
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半导体震动/水平/湿度三合一侦测仪器
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无线传输、晶圆形状和电池供电 提供 150mm、200mm、300mm 尺寸。
度: 4.5mm
三个维度 x、y 和 z 的加速度
三个维度 x、y 和垂直方向的倾斜度
湿度精度 +/- 2% RH
- Epitaxy
- Thermal oxidation/metallization
- Plasma vapor deposition; PVD
- Chemical vapor deposition; CVD, ALD
- CMP
- Atomic layer deposition; ALD
- Photo lithography
- Wet (chemical) etch, plasma etch
- Dry etch
- Ion implant
- Di_usion/furnace
- Rapid thermal anneal; RTA, RTP
- Test and inspection
- Metrology
- Micro contamination
- Auto handling system; AMHS
- Module repair
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